
PRODUCT CLASSIFICATION
更新時(shí)間:2026-08-22
瀏覽次數(shù):177設(shè)備組成
1. 爐體爐膛:雙層殼體,水冷 / 風(fēng)冷降溫;爐膛材料多為氧化鋁纖維、聚輕剛玉;爐門 O 型圈水冷密封,手輪壓緊,防止漏氣。
2. **加熱元件**
- ≤1250℃:鐵鉻鋁電阻絲
- 1200?1600℃:硅碳棒
- 1600?1800℃:硅鉬棒
- 1800℃以上:石墨加熱體
3. **真空系統(tǒng)**:旋片機(jī)械泵(標(biāo)配,極限?0.1MPa);高真空選配羅茨泵、分子泵。
4. **氣路系統(tǒng)**:浮子流量計(jì) / MFC 質(zhì)量流量控制器、進(jìn)氣閥、排氣閥、泄壓安全閥;支持 N?、Ar、H?等氣體通入。
5. **電控溫控**:PID 程序溫控儀,多段升溫曲線,控溫精度 ±1℃;帶超溫、斷偶、開門斷電、斷水報(bào)警保護(hù)。
二、核心工藝流程
1. 裝料,鎖緊爐門,確認(rèn)密封;
2. 抽真空 → 充入保護(hù)氣,循環(huán)置換 2?3 次,降低爐膛殘氧;
3. 維持**微正壓**,啟動(dòng)程序升溫;
4. 升溫?保溫工藝完成,停止加熱;
5. **必須降溫至 200℃以下,再破真空開門取樣**,嚴(yán)禁高溫開爐。
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