PRODUCT CLASSIFICATION
更新時間：2026-09-12 
瀏覽次數：117結構與配置（實驗室小樣款）
1. **爐管與載具**
- 爐管：**高純熔融石英管**（半導體，低金屬析出、潔凈，最高 1200℃；更高溫第三代半導體可選高純剛玉管）
- 樣品托架：**石英舟 / 石英樣品架**，專門放置晶圓片，不污染晶片表面
- 兩端 KF 真空法蘭、高純氟膠密封，低漏氣率，嚴控水汽、氧雜質
2. **加熱系統**
- 常規款：電阻絲加熱，最高 1200℃；第三代半導體高溫工藝可選硅碳棒 / 硅鉬棒到 1400~1600℃
- 溫控：PID 可編程多段程序控溫，**溫場均勻度 ±1℃**，B 型 / S 型熱電偶，超溫、斷偶保護；半導體工藝對溫場均勻性要求高
- 可選 RTP 快速熱退火版本：紅外鹵素燈加熱，秒級升溫（幾十℃/s），減少熱預算，抑制雜質過度擴散
3. **真空與氣路系統（半導體重點）**
- 真空：機械泵，可選分子泵高真空；多次抽真空 + 高純氣體置換，把氧、水汽降到極低水平
- 進氣：**高純 N?、高純 Ar**（99.999%），MFC 質量流量控制器精準控氣體流量；可選 O?用于氧化工藝
- 氣路全部采用不銹鋼潔凈管路，配過濾器，減少粉塵污染晶片
4. **爐體**：雙層風冷爐殼，氧化鋁輕質保溫棉，無掉粉污染樣品；臥式臺式，放實驗室臺面，單次放少量晶圓小樣（1~ 幾片）
工作原理與退火目的
原理
晶片放入石英舟送入恒溫區，密封法蘭；多次**抽真空→充高純保護氣**置換，消除管內氧氣水汽；加熱元件升溫，在**真空 / 高純惰性氣氛**下恒溫熱處理；PID 閉環控制溫度，按工藝曲線升溫保溫降溫。
### 半導體退火核心目的
1. **離子注入后晶格修復**：離子轟擊造成硅晶格損傷，退火熱能讓硅原子重排，修復單晶缺陷
2. **摻雜激活**：注入的摻雜原子移動到晶格替位位置，具備導電能力，形成 PN 結
3. **薄膜晶化、應力釋放**：多晶硅、氧化硅、氮化硅薄膜退火，釋放薄膜內應力，防止晶片翹曲開裂
4. **金屬硅化物合金化**：降低金屬與硅接觸面的接觸電阻
5. **晶圓除氣、界面優化**：去除晶片表面吸附雜質，優化薄膜與襯底界面
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> 工藝特點：傳統管式爐屬于**長時間等溫退火**；RTP 快速管式退火，短時高溫，抑制摻雜原子過度擴散，適合淺結工藝
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