PRODUCT CLASSIFICATION
更新時間：2026-09-27 
瀏覽次數：23結構
1. **爐管**
- 石英管：≤1200℃，透明，易觀察樣品；
- 剛玉（氧化鋁）管：1400~1700℃，耐高溫，適合硅鉬棒高溫爐；
- 兩端**真空法蘭 + O 型圈密封**，集成進氣、出氣、真空接口、壓力表 / 真空計。
2. **爐膛保溫**：氧化鋁陶瓷纖維，保溫好、升溫快、蓄熱小。
3. **加熱元件**
- 1200℃：電阻絲；
- 1400℃：硅碳棒；
- 1600~1700℃：硅鉬棒。
4. **溫控系統**：PID 程序溫控，多段升溫曲線，控溫精度 ±1℃，升溫速率 0~20℃/min 可調。
5. **氣路真空系統**
- 真空：機械泵（低真空，幾十 Pa）；需要高真空搭配分子泵；
- 氣路：質量流量計 MFC，多路供氣，可混氣；常用 Ar、N?惰性氣氛；部分型號支持 H?、NH?還原氣氛（需防爆）。
工藝模式
1. **真空熱處理**：直接抽真空，真空退火、脫氣、真空燒結；
2. **洗氣置換**：抽真空 → 充保護氣 → 再抽真空，反復多次，把管內氧氣降到極低；
3. **動態氣氛**：持續通入氣體，保持微正壓流動氣氛（CVD、氧化、還原）；
4. **靜態氣氛**：抽真空后充入固定壓力氣氛，密閉保溫燒結。
常用參數區間
- 最高溫：1200 /1400 /1600 /1700℃；
- 真空度：機械泵可達 10~100Pa；機械泵 + 分子泵可到 10?3~10??Pa；
- 爐管規格：Φ30、Φ50、Φ60、Φ80、Φ100mm 等，加熱區長度可定制；
- 氣氛：惰性氣體 N?、Ar；可選還原性氣體（氫氣需定制防爆），**嚴禁空氣 + 氫氣混合高溫**。
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